저스템이 LG디스플레이와 55억 4540만원 규모의 수율 개선 제전장비 공급계약을 체결했다고 24일 밝혔다.

저스템이 공급하는 고진공 이오나이저시스템(VIS)은 OLED 제조공정에서 발색 및 발광용 유, 무기재료를 고열로 증착하는 공정 전후에 발생하는 정전기를 제거해 제품의 신뢰성을 높이는 장비다.

저스템은 VIS가 OLED 제조공정에서 정전기 제어에 필요한 필수 장비가 될 것으로 기대하고 있어 향후 VIS의 본격적인 추가 수주와 시장 확대도 전망하고 있다.

반도체 및 디스플레이 제조공정에서 발생하는 정전기는 필수 해결과제다.

기존의 제전 방식과 달리 저스템의 VIS는 고진공 환경에서 순수하게 이온만을 생성해 웨이퍼나 Glass의 유, 무기물 증착 표면을 최대한 손상 없이 제전 할 수 있는 장비다.

고진공 환경의 공정 내 추가적인 Gas 공급이 필요 없어 압력이 변동되지 않고 빛이 발생하지 않는 이온화 제전 방식이어서 OLED 표면 손상을 최소화해 기존 공정 환경에 영향을 주지 않고 효율적으로 정전기를 제거할 수 있다.

특히, 차세대 디스플레이 분야의 소자 고집적화 및 고휘도 제품의 고진공 공정 환경 내 제전을 위한 핵심 장비로도 사용이 가능하다.

하정민 저스템 기술연구소 부사장은 "반도체에 이어 디스플레이 분야에서도 최고의 수율 향상 솔루션을 시장에 공급하게 돼 기쁘다"며 "고해상도 OLED 제조공정에서 제전 기술이 더욱 중요해지는 만큼 저스템의 기술력이 높이 평가받을 것"이라고 말했다.