»ï¼ºÀüÀÚ°¡ °æ±â ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º¿¡ 10Á¶¿øÀ» ÅõÀÚÇØ ±ØÀڿܼ±(EUV) ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇÑ´Ù. ¿À´Â 2030³â±îÁö ±Û·Î¹ú ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀå 1À§¿¡ ¿À¸¥´Ù´Â ‘¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030’ ´Þ¼ºÀ» À§ÇØ ½ÂºÎ¼ö¸¦ ´øÁø °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ. ¡Ú°ü·Ã±â»ç 4¸é, º»Áö 5¿ù15ÀÏÀÚ 13¸é ÂüÁ¶
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ´Þ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º 2°øÀå(P2)¿¡ EUV °øÁ¤ ±â¹ÝÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎ °ø»ç¿¡ Âø¼öÇßÀ¸¸ç ³»³â ÇϹݱâºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ÇÒ ¿¹Á¤À̶ó°í 21ÀÏ ¹àÇû´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº À̹ø ÅõÀÚ¿Í °ü·ÃÇØ “¾î·Á¿ï ¶§Àϼö·Ï ¹Ì·¡¸¦ À§ÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ¸ØÃç¼´Â ¾È µÈ´Ù”°í °Á¶Çß´Ù. ƯÈ÷ À̹ø ÅõÀÚ´Â ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼¸¦ µÑ·¯½Ñ ¹ÌÁß °¥µî ÀçÁ¡È·Î ¾÷°èÀÇ ºÒÈ®½Ç¼ºÀÌ Ä¿Áø °¡¿îµ¥ ÀÌ·ïÁ® °ü½ÉÀ» ²ö´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ 4¿ù ‘¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030’À» ¹ßÇ¥ÇÑ µÚ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¿¡ ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼µµ ±Û·Î¹ú 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇÑ ¼¼ºÎÀü·«À» ½ÇÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿Ã 2¿ù ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡ EUV Àü¿ë ‘V1’ ¶óÀÎÀ» °¡µ¿ÇÑ µ¥ À̾î ÆòÅÿ¡ µÎ ¹ø° EUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇØ ¸ð¹ÙÀÏ·°í¼º´ÉÄÄÇ»ÆÃ(HPC)·ÀΰøÁö´É(AI) µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ±â¼úÀÇ °æÀï·ÂÀ» °ÈÇÏ°í ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 2019³â ȼº S3 ¶óÀο¡¼ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV ±â¹Ý 7³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ ÈÄ Áö³ÇØ ÇϹݱâ 6³ª³ë ¾ç»êÀ» °ÅÃÄ ¿Ã ÇϹݱâ 5³ª³ë ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â »ý»ê¼ºÀ» ´õ¿í ±Ø´ëÈÇÑ 5³ª³ë Á¦Ç°À» ¿Ã ÇϹݱâ ȼº¿¡¼ ¸ÕÀú ¾ç»êÇÑ µÚ ÆòÅà ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀο¡¼µµ ÁÖ·Â »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ȼº V1 ¶óÀο¡ ÀÌ¾î ³»³â ÇϹݱâ ÆòÅà ¶óÀÎÀÌ °¡µ¿µÇ¸é 7³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼°øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê±Ô¸ð°¡ °¡Æĸ£°Ô ´Ã °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
Á¤Àº½Â »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹® ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ »çÀåÀº “5³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤ Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê±Ô¸ð¸¦ È®´ëÇØ EUV ±â¹Ý Ãʹ̼¼½ÃÀå ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇسª°¥ °Í”À̶ó¸ç “Àü·«Àû ÅõÀÚ¿Í Áö¼ÓÀûÀÎ ÀηÂä¿ëÀ» ÅëÇØ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ÀÇ ÅºÅºÇÑ ¼ºÀåÀ» À̾°¡°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ °æ±â ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º¿¡ 10Á¶¿øÀ» ÅõÀÚÇØ ±ØÀڿܼ±(EUV) ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇÑ´Ù. ¿À´Â 2030³â±îÁö ±Û·Î¹ú ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀå 1À§¿¡ ¿À¸¥´Ù´Â ‘¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030’ ´Þ¼ºÀ» À§ÇØ ½ÂºÎ¼ö¸¦ ´øÁø °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ´Þ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º 2°øÀå(P2)¿¡ EUV °øÁ¤ ±â¹ÝÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎ °ø»ç¿¡ Âø¼öÇßÀ¸¸ç ³»³â ÇϹݱâºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ÇÒ ¿¹Á¤À̶ó°í 21ÀÏ ¹àÇû´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº À̹ø ÅõÀÚ¿Í °ü·ÃÇØ “¾î·Á¿ï ¶§Àϼö·Ï ¹Ì·¡¸¦ À§ÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ¸ØÃç¼´Â ¾È µÈ´Ù”°í °Á¶Çß´Ù. ƯÈ÷ À̹ø ÅõÀÚ´Â ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼¸¦ µÑ·¯½Ñ ¹ÌÁß °¥µî ÀçÁ¡È·Î ¾÷°èÀÇ ºÒÈ®½Ç¼ºÀÌ Ä¿Áø °¡¿îµ¥ ÀÌ·ïÁ® °ü½ÉÀ» ²ö´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ 4¿ù ‘¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030’À» ¹ßÇ¥ÇÑ µÚ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¿¡ ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼µµ ±Û·Î¹ú 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇÑ ¼¼ºÎÀü·«À» ½ÇÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿Ã 2¿ù ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡ EUV Àü¿ë ‘V1’ ¶óÀÎÀ» °¡µ¿ÇÑ µ¥ À̾î ÆòÅÿ¡ µÎ ¹ø° EUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇØ ¸ð¹ÙÀÏ·°í¼º´ÉÄÄÇ»ÆÃ(HPC)·ÀΰøÁö´É(AI) µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ±â¼úÀÇ °æÀï·ÂÀ» °ÈÇÏ°í ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 2019³â ȼº S3 ¶óÀο¡¼ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV ±â¹Ý 7³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ ÈÄ Áö³ÇØ ÇϹݱâ 6³ª³ë ¾ç»êÀ» °ÅÃÄ ¿Ã ÇϹݱâ 5³ª³ë ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â »ý»ê¼ºÀ» ´õ¿í ±Ø´ëÈÇÑ 5³ª³ë Á¦Ç°À» ¿Ã ÇϹݱâ ȼº¿¡¼ ¸ÕÀú ¾ç»êÇÑ µÚ ÆòÅà ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀο¡¼µµ ÁÖ·Â »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ȼº V1 ¶óÀο¡ ÀÌ¾î ³»³â ÇϹݱâ ÆòÅà ¶óÀÎÀÌ °¡µ¿µÇ¸é 7³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼°øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê±Ô¸ð°¡ °¡Æĸ£°Ô ´Ã °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
Á¤Àº½Â »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹® ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ »çÀåÀº “5³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤ Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê±Ô¸ð¸¦ È®´ëÇØ EUV ±â¹Ý Ãʹ̼¼½ÃÀå ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇسª°¥ °Í”À̶ó¸ç “Àü·«Àû ÅõÀÚ¿Í Áö¼ÓÀûÀÎ ÀηÂä¿ëÀ» ÅëÇØ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ÀÇ ÅºÅºÇÑ ¼ºÀåÀ» À̾°¡°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù. |